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这里说的等离子抛光工艺装置包括:抛光设备(溶液槽、升降装置)、阴极板、挂(夹)具、电源控制系统及加热装置和喷淋塔等。
1抛光槽:等离子抛光槽是用来盛装抛光液的容器。按其材质可分为金属槽、非金属槽内衬金属板两种。槽体大小主要取决于被抛光件的外形结构及产量。
2升降装置:主要作用是将挂(夹)具上升下降至抛光槽内的溶液里。(升降装置连接电源的阳极)
3阴极板:非金属槽体需要将阴极板装在抛光槽内起与阳极导电作用。(负极板连接电源的阴极)
4挂(夹)具:作用是将被抛光的工件挂在挂具上然后挂在连接阳极的升降装置上起到导电作用。
5电源:起到给阳极提供输出,从而形成气膜进行等离子抛光。
6加热装置:一般加热方式都是采用加热棒,我司采用了蒸汽发生器加热效率快,能耗低。(传统加热方式:加热棒效率低、能耗高、长期使用会被腐蚀)
7蒸汽喷淋塔:在抛光时会产生蒸汽,通过抽风机抽至喷淋塔内冷却成水在利用水泵抽回抛光槽内循环利用。